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電感式輪廓儀
一種將觸針位移轉(zhuǎn)換為電感信號的表面粗糙度測量儀。當(dāng)電感式傳感器的觸針沿被測表面均速滑行時,觸針的上下位移帶動了磁芯運動,從而改變電橋兩臂電感線圈的電感量,輸出與觸針位移成比例的電信號,經(jīng)放大和運算等處理,即可獲得表面粗糙度參數(shù)值和輪廓的記錄圖形。這類儀器精度高,可測量高度參數(shù)Rₐ,Rz和Ry,間距參數(shù)Sm,S以及支承系數(shù)tp等十幾個參數(shù),測量范圍:Rₐ值10~0.02μm,Rz和Ry值50~0.2μm,示值誤差不大于10%或7%。
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